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伺服系統(tǒng) 氣浮平臺系列
氣浮平臺系列
高性能直驅(qū)氣浮平臺，擁有高動(dòng)態(tài)性能與納米級定位精度。通過直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，結(jié)合正負(fù)壓設(shè)計(jì)，有效應(yīng)對大體積負(fù)載在氣浮導(dǎo)軌上的重力不均勻分部，可以更好地保證空氣導(dǎo)軌的正常氣隙
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產(chǎn)品特點(diǎn)
定制化需求
可根據(jù)客戶需求進(jìn)行評估定制
氣浮直驅(qū)
利用空氣彈性勢能作為支撐導(dǎo)軌，實(shí)現(xiàn)滑軌與滑臺零摩擦、減少誤差
高精度定位
具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能、定位精度、速度穩(wěn)定性和高分辨率
應(yīng)用領(lǐng)域
大型光學(xué)透鏡檢測、半導(dǎo)體領(lǐng)域的晶圓缺陷檢測、精密制造和封裝、測量檢測、生物樣片加工及觀測、同步加速研究、精密制造、光學(xué)對
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直為高精度定位平臺產(chǎn)品
3.34
2022-11-01